E-beam 電子束光阻 ZEP-520A

ZEP-520A 是一款高解析度並且耐乾式蝕刻的正型光阻。
解析度 L/S=25nm/25nm (FT=50nm)。
其一系列產品還有顯影液 ZED-N50 以及稀釋液 ZEP-A。
目前廣泛用於 5G 通訊相關產品。

產品包裝：
ZEP520A／100ml、1QT
ZEP520A-7／100ml、1QT
ZED-N50／1GL
ZED-N60／1GL
ZEP-A／1QT (最小出貨量 4QT)